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이재용 부회장, 7나노ㆍAI 기술개발위해 네덜란드 행

네덜란드 ASML社 찾아 최첨단 차세대 반도체 개발협의



[산업경제뉴스 강민구 기자]  이재용 삼성전자 부회장이 삼성전자의 미래경영을 찾기 위해 세계 곳곳을 누비고 있다.


지난 1월에는 브라질, 5월에는 중국을 방문한 데이어 이번에는 네덜란드를 찾아 차세대 반도체 기술개발을 위한 협의를 이어갔다.


삼성전자는 13일(현지시간) 이 부회장이 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 찾아 피터 버닝크 CEO, 마틴 반 덴 브링크 CTO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다고 전했다.


이날 논의 자리에서는 ▲7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV(Extreme Ultra Violet) 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안 ▲AI 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 ▲코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다.

이 부회장은 이날 ASML의 반도체 제조장비 생산공장도 방문해 EUV 장비 생산 현황을 직접 살펴보기도 했다.

버닝크 CEO 등 ASML 경영진은 지난 2016년 11월에 삼성전자를 방문해 차세대 반도체 미세 공정 기술에 관한 협력 방안을 논의한 바 있으며, 2019년 2월에도 프랑스 파리에서 이 부회장을 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나눈 것으로 알려졌다.



삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다는 판단에 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력해 왔으며, 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다.

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술로, 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 인공지능(AI)·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적인 기술이라는 설명이다.

삼성전자와 ASML은 EUV 관련 기술적 난제 해결을 위해 초기부터 ▲EUV에 최적화된 첨단 반도체 소재 개발 ▲장비 생산성 향상 ▲성능 개선 등 다양한 분야에서 협력을 이어 오고 있다.

삼성전자는 최근 시스템반도체에 이어 최첨단 메모리반도체 분야까지 EUV의 활용 범위를 확대해 가고 있으며, 특히 파운드리 사업이 빠르게 성장하면서 두 회사 간 협력 관계도 확대되고 있다.

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